燃燒式廢氣處理柜（Scrubber）
處理流量：600SLM （1）基礎配置 ■燃燒型自動控制； ■燃燒效率大于 99.999% ■加熱腔體采用C276材質 ■各種氣體獨立進入 Scrubber ■混合進入的CDA及N2流量進行控制 ■進氣口配單向閥、可燃氣配阻火器 ■進入氣體管道爐前管道自動軌道焊接 ■設備管道經涂層處理具備耐磨耐腐蝕性 ■進入氣體管道爐前管道使用SS316LEP管 |
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（2）適用氣體
易燃可燃性氣體，如氫氣（H2）, 硅烷（SiH4）, 氨氣（NH3）,等
（3）應用行業
適合于半導體、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微電子等需要對燃爆氣體處理的企業或實驗室
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