化學品系統-化學品系統-深圳市蓋斯帕克氣體應用技術有限公司

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化學品供應系統

化學品供應系統簡稱CDS，是一個為生產線實現24小時不間斷供應高純度化學品的系統，一般應用于使用量大、POU點位多或者危險性高的化學品。其目的是供應高純度化學品用于芯片表面雜質和微粒子的清洗，芯片圖形的刻蝕，芯片圖形的顯影、芯片的研磨等

CDS系統分類

半導體行業主要使用的化學品大致可以分為酸性（Acid）、堿性（Base）、有機（Solvent）、氧化劑（Oxider）及研磨液(Slurry)。工藝半導體制造在很大程度上是一種與化學有關的工藝過程，高達20%工藝步驟是清洗和晶圓表面的處理。

CCB (Clean Coupling Booth)

即槽車充填單元，將槽車原液Chemical輸送至儲罐儲存的供應機臺

Storage Tank儲罐

材質:根據供應化學品性質的不同，儲罐常常也采用不同的材質。

酸堿類化學品:罐體CS/SUS304,內襯PTFE

有機溶劑類化學品:罐體SUS316L-BA/EP

腐蝕性溶劑化學品:罐體CS/SUS304,內襯PTF

CDU(Chemical Dispense Unit）

即化學品供應單元，用于將200L Drum桶或Storage Tank內的化學品通過內部的Pump、Filter供應至VMB。
根據供應化學品性質的不同，材質分為:
酸堿類化學品:外殼PP,內部閥件管路PFA
有機溶劑類化學品:外殼SUS,內部管路閥件SUS
腐蝕性溶劑化學品:外殼SUS,內部管路閥件PFA

VMB (valve manifold box)

閥門分流箱，用于主管道連接至VMB后，通過支路閥門分別連接至對應POU。

材質:根據供應化學品的性質分為

酸堿類化學品:外殼PP,內部閥件管路PFA

有機溶劑類化學品:外殼SUS,內部管路閥件SUS

腐蝕性溶劑化學品:外殼SUS,內部管路閥件PFA

T-BOX：用于供應主管路需要連接至多個VMB，主管路上開支路時需要安裝T-BOX。
E-BOX：用于供應主管路末端需要預留點時，在主管路末端安裝E-BOX。

材質:根據供應化學品的性質分為:

酸堿類化學品:外殼PP,內部閥件管路PFA

有機溶劑類化學品:外殼SUS,內部管路閥件SUS

腐蝕性溶劑化學品:外殼SUS,內部管路閥件PFA