（1）工藝氣體控制設備

A：毒腐燃爆類供氣設備GC

毒腐燃爆類氣體使用Hisptech 型全自動特氣柜,全自動觸摸屏操作(帶外吹掃、抽真空，自動緊急遠程切斷、事故報警，高壓保壓鋼瓶接頭測漏，泄漏報警對 接，通風出口等)

B：終端氣體控制設備

Hisptech 型VMB，具有自動緊急遠程切斷、帶抽真空、外吹掃、泄漏報警對接，通風出口等

（2）氣體管道輸送系統

管道需要按照整幢樓的現狀及潔凈室建設及裝修綜合 情況進行安全布置，并按照對應工藝設備實際需要安全科學分送到潔凈室內指定設備處。管道的布置須 使用安全且必要的雙層套管（內層管為潔凈拋光 EP 級管，中間真空，外層做 BA 級管）中間抽真空且進行真空監控，所有管材及管閥件須用國際知名品牌 EP 級材料

（3）尾氣處理系統

提供Hisptech電熱分解式+高分子WET式Scrubber，采用超高溫夾套分解式與超高壓水分子吸附處理方式，處理效率≥99.999%