落地式閥門控制箱
(1)基礎配置 ■尾氣排放功能; ■具備一個預留擴充點 ■氣體分配柜的負壓應持續監控。 ■防爆外柜,烤漆或不銹鋼外殼包覆 ■緊急切斷功能,風壓事故報警功能等 ■為保證安全,所有閥門管件須使用優質的國際知名品牌 ■符合國際安全規范的帶鋼絲玻璃觀察窗、自動關閉門、抽風外殼 ■帶外吹掃、帶抽真空,自動緊急遠程切斷、事故報警,泄漏報警對接,通風出口等 ■每個stick 可配置:手動隔膜閥、氣動隔膜閥、壓力表,壓力傳感器、減壓閥,單向閥,過濾器、安全閥等
(2)產品特性 ■主材全部采用 SUS316無縫不銹鋼管 ■主體閥門管件全部來自Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌國際一線品牌 |
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(3)適用氣體
易燃性,腐蝕性,毒性氣體,諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等
(4)適用行業
Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校實驗室等