特氣分配柜(VMB)
落地特氣閥門分配箱(Valve Manifold Box),是一種內嵌多支路,實現高純氣體或液體分流的閥門箱。 VMB能讓高純原料從單一來源被分配到多點應用。對于每個使用點,壓力可被單獨地調控,從而可同時滿足不同應用的需求。它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能,因此操作人員能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地維護VMB的每一部份。除此以外,設備運行過程中能在不影響其它支路氣體供應情況下,吹掃某一支路或對其進行真空抽氣。 ST2100 VMB通過采用安裝的壓力表、手動閥等裝置,具有成本低的優勢,能夠實現設備安全有效的運行,同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全。 | ![]() |
適用氣體:
易燃性,腐蝕性,毒性氣體,諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。
適用行業:
Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校實驗室等。