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    全自動分配箱(VMB)
    • 吹掃壓力表
    • 進口手動隔離閥
    • 進口氣動隔膜閥
    • 進口壓力傳感器
    面板可選配置
    • 真空發生器
    • 測試端口閥門

    • 單向閥、過濾器

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    應用氣體

    • 易燃性，腐蝕性，毒性氣體 :諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等

    適用行業

    • Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED，研究所，高校實驗室等

    應用行業
    • 光伏太陽能
      材料分析實驗室
    • 半導體芯片
      半導體芯片
    • 生物醫藥工程
      生物醫藥工程
    • 高校科研實驗室
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    • 微電子新材料
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