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水洗式廢氣處理柜（Scrubber）
處理流量：600SLM
（1）基礎配置
■水洗自動控制
■冷卻水入口流量檢測
■處理效率大于 99.999%
■對稀釋氣體流量進行控制
■各種氣體獨立進入 Scrubber■進氣口配單向閥、可燃氣配阻火器■進入氣體管道爐前管道使用SS316LEP管■進入氣體管道Scrubber前管道自動軌道焊接
■設備管道經涂層處理具備耐磨耐腐蝕性■循環水槽水位與漏液檢測，變頻循環水泵，流量最大80L/min，最大可調6米揚程
（2）適用氣體
毒腐性氣體，如氯氣（Cl2）, 氯化氫（HCl）, 三氯化硼（BCl3）等
（3）應用行業
適合于半導體、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微電子等需要對水溶性毒腐氣體處理的企業或實驗室
GP4009009093
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