（1）基礎配置

■尺寸：1000(W) * 1000(D) * 1800(H)

■進氣口：進口1~4端口，入口模塊組件溫度監測( 120℃ ↓)

■濕式洗滌：防腐項目（高樹脂涂層室）、Switch 方式的 流量供給監測、濕式洗滌溫度監測(35℃以下)

■濕式儲罐：高樹脂涂層室、容量充分的 循環水、抽水機

■等離子體室（反應器）：自上而下流動系統、室內溫度傳感器、防腐項目（內腔_ SUS310）

（2）適用氣體

燃爆毒腐性氣體，如 氟氣（F2）, 砷（AS）, 溫室氣體（GHG）等

（3）應用行業

適合于半導體、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微電子等需要對燃爆毒腐氣體處理的企業或實驗室