• 水洗+燃燒二合一(Scrubber)

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    水洗+燃燒二合一型(Scrubber)


    處理流量:600SLM

    (1)基礎配置

    ■尺寸:DIMENSION 尺寸 約950*900*1800(W*D*H)

    ■燃燒溫度850℃

    ■冷卻水入口流量檢測
    ■燃燒室溫度監測與報警
    ■助燃氣體入口壓力檢測

    ■燃燒效率大于 99.999%

    ■加熱腔體采用C276材質
    ■循環水槽水位與漏液檢測

    ■對稀釋氣體流量進行控制

    ■各種氣體獨立進Scrubber

    ■混合進入的CDA及N2流量進行控制

    ■排風口壓力、濃度、溫度監測報警

    ■進氣口配單向閥、可燃氣配阻火器

    ■觸摸屏+國際知名品牌PLC自動控制

    ■進入氣體管道爐前管道自動軌道焊接

    ■設備管道經涂層處理具備耐磨耐腐蝕性

    ■進入氣體管道爐前管道使用SS316LEP管
    ■變頻循環水泵,流量最大80L/min,最大可調6米揚程

    通過電加熱到 850℃,加熱棒可根據用戶需求配置4~8支,腔室內設置2個以上溫度熱電偶,具有溫度高及溫度低報警功能,并配以充足空氣(空氣需用戶現場提供)助燃,含尾氣處理器稀釋助燃氣體用量尾氣可處理容量≥600升每分鐘,處理效率≥99%,將可燃或可分解廢氣燃燒、氧化、分解,達到降害目的

    水洗除了有冷卻、降溫的功能,還可以通過水溶解或水分解,將溶水氣體變成液態酸或堿性溶液及增加2層以上填料對廢氣進行處理,設備配置10以上噴淋頭,方便后續工程的酸堿中和處理








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    (2)適用氣體

    燃爆毒腐性氣體,如氫氣(H2), 硅烷(SiH4), 氨氣(NH3), 磷烷(PH3),乙炔(C2H2)等

     

    (3)應用行業

    適合于半導體、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微電子等需要對燃爆毒腐氣體處理的企業或實驗室

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