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    三瓶全自動特氣柜(GC)
    • 氦檢報告
    • 三色塔燈
    • 防爆電控箱
    • 高壓測漏功能
    • 帶自清潔功能
    • 4寸排風口及閥門
    • 所有閥門使用氣動閥
    可選配置
    • 噴淋頭
    • 帶加熱盤面
    • 高溫探測報警
    • 配置電子磅秤
    • 配置 UV/IR,噴淋頭，高溫，煙感應
    • 前端0.1μ過濾器，后端0.001μ終端過濾器
    • 為保證安全，所有閥門管件須使用美國Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌
    適應氣體
    • 燃爆性氣體：如氫氣（H2）, 一氧化氮（N2O）, 甲烷（CH4）,乙炔（C2H2)等
    • 毒腐性氣體：如二氧化硫（SO2）、硫化氫（H2S）、一氧化碳（CO）、二氧化氮（NO2）、氯化氫（HCL）等
    應用行業

    • 應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。

    應用行業
    • 光伏太陽能
      光伏太陽能
    • 半導體芯片
      半導體芯片
    • 生物醫藥工程
      生物醫藥工程
    • 高校科研實驗室
      高校科研實驗室
    • 微電子新材料
      微電子新材料
    • 材料分析實驗室
      材料分析實驗室
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