（1）基礎配置 ■氦檢報告 ■高壓測漏功能 ■帶自清潔功能 ■半自動切換供氣 ■4寸排風口及閥門 ■配置吹掃抽真空功能 ■帶鋼絲玻璃觀察窗、自動關閉門、抽風外殼 （2）可選配置 ■噴淋頭 ■帶加熱盤面 ■高溫探測報警 ■配置電子磅秤 ■煙霧感應器配置 UV/IR火焰探測器 ■前端0.1μ過濾器，后端0.001μ終端過濾器 |
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（3）適應氣體
燃爆性氣體，如氫氣（H2）, 一氧化氮（N2O）, 甲烷（CH4）,乙炔（C2H2)等，毒腐性氣體，如二氧化硫（SO2）、硫化氫（H2S）、一氧化碳（CO）、二氧化氮（NO2）、氯化氫（HCL）等
（4）應用行業
應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。
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