• 單瓶全自動特氣柜(GC)

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    單瓶全自動特氣柜(GC)


    規格:單瓶工藝氣瓶,全自動

    (1)基礎配置

    ■氦檢報告

    三色塔燈

    防爆電控箱

    ■高壓測漏功能

    ■帶自清潔功能

    ■4寸排風口及閥門

    所有閥門使用氣動閥

    ■單工藝瓶自動供氣

    ■防爆外柜,烤漆或不銹鋼外殼包覆

    ■符合國際安全規范的帶鋼絲玻璃觀察窗

    ■實現人氣分離的全自動觸摸屏操作(外吹掃、抽真空,自動緊急遠程切斷、事故報警,高壓保壓鋼瓶接頭測漏,泄漏報警對 接,通風出口等)

    (2)可選配置

    ■噴淋頭

    ■帶加熱盤面

    ■高溫探測報警

    ■配置電子磅秤

    ■配置 UV/IR,噴淋頭,高溫,煙感應

    ■前端0.1μ過濾器,后端0.001μ終端過濾器

    為保證安全,所有閥門管件須使用美國Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌










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    3)適應氣體

    燃爆性氣體,如氫氣(H2), 氧化氮(N2O), 甲烷(CH4),乙炔(C2H2)等毒腐性氣體,如二氧化硫(SO2)、硫化氫(H2S)、一氧化碳(CO)、二氧化氮(NO2)、氯化氫(HCL)等

    4)應用行業

    應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上,適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。

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